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P30等离子体清洗刻蚀机
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等离子体刻蚀 \ 清洗机由真空腔体及等离子电源、抽真空系统、充气系统、控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下，等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体，利用真空泵将工作室进行抽真空达到 0.02-0.03mbar 的真空度，再在等离子电源作用下，将气体进行电离，形成等离子体 (物质第四态)。等离子电源提供能量使气体电离成等离子态。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光，材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。 系统主要参数 罐体尺寸:280*280x200mm高 极限真空度:9*10-1Pa(配套双级旋片真空泵) 射频电源，功率0~300W，数显 充气系统质量流量控制器一台及排空阀一套 真空系统配真空泵一台，抽气速度24升/秒，极真空9x10-1，工作电压220伏。真空专用电磁角阀、充气阀、不锈钢真空波纹管、高精度数字式真空计、规管。 控制系统:采用触摸屏全自动控制 |
