离子溅射仪采用磁控直流溅射原理设计,是一款适用于SEM样品制备、电极制备等场景的桌面式镀膜设备。相较于常规二极溅射,具有效率高、温升低、靶材适应广等优点。设备采用PLC+触摸屏全自动控制,支持一键式启动,操作便捷。
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