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大型-落地式量产机
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大型-落地式量产机专为预生产及产线而设计 涂布宽幅:600mm~1200mm n基板尺寸:1200mm*600mm n模头:高精度带流体仿真模头 n涂布宽度:600mm n干膜厚度:200nm~2500nm n涂膜均匀性:≤5% n双Y轴运输平台:气浮轴承+大理石轨道+直线电机+伺服系统 n龙门架构:高精密滚珠丝杆模组+伺服系统+彩色激光同轴位移计 n注液泵:高精密度供液系统 n样品顶针:对位大理石真空吸附+顶升机构 n预涂布模块:自动预涂+刀头自动清洗装置 n工艺预干装置:精密风刀预干装置 nPLC:三菱 n运动控制:三菱 n操作:定制化专业软件系统,三菱触摸屏 |