自动化Slot-die高精度狭缝式涂布方案

品牌：DATAMAKER    型号：DT-3030

一、工艺和应用介绍

1. 涂布系统主要包括供料单元和涂布单元，涂布单元是通过利用精密机械加工所制作的上下模及安装在上下模间的薄垫片所组成，供料单元由储料、输送的注射泵及过滤装置等组成。系统由涂布模具相对于基片作精确运动，通过控制速率、精密计量和泵送工艺流体，将液体化学材料从上下模之间的缝隙挤出涂布于移动的基板（玻璃、不锈钢和塑料等）上形成薄膜。涂膜厚度可由液体流量与基板移动速度直接计算，其优点为涂膜均匀性高、可适用的涂料粘度范围广、涂布速度快、以及可制作大面积的涂膜。

2. 适用于有机太阳能电池OPV和钙钛矿太阳能电池PVK等基材的涂布，非连续基材如LCD玻璃基板光阻涂布，也应用于光学膜（增亮膜、Hardcoat、偏光膜、扩散膜等）、OLED涂布等。

3. 多种规格尺寸可选可定制，多种人性化配置可选：加热台、特殊气体吹淋系统、多尺寸刀头，多规格垫片等，满足客户多种需求，为客户量身定制高精密专业设备。

二、设计方案

2.1 整机设计方案

（狭缝涂布机实物图）

2.1.1设备整体采用两级调整确保大面积平台水平度，涂布平台有单独的调平机构，平台是否平整作为工艺门槛的第一步相当于地基。

2.1.2 整个涂布平台底部采用高精度大理石平台，大理石受热胀冷缩影响少，水平稳定性高。

2.1.3 若配有原位加热功能，涂布系统的样品台将采用高精度不锈钢设计。若无原位加热功能，涂布系统的样品台采用高精度大理石平台，同时具备带有样品定位，样品台水平微调功能，保证平整度。

2.1.4 涂布刀头采用特制沉淀硬化不锈钢，特殊表面热处理的进口大尺寸刀头（自有专利设计技术），防有机溶剂，防形变。

2.1.5 刀头内置316不锈钢材质垫片，以此调整涂布上下唇口间缝隙来决定出液量。

2.1.6 Z轴采用伺服电机配合编码器加光栅尺双闭环，确保刀头的位置精度，和刀头的水平度。

2.1.7 集成化注射泵，可联动控制溶液流速，自动进液，自动除气，自动管路清洗（需要配备清洗液，刀头需拆卸清洗）。

2.1.8 涂布平台运行机构采用直线伺服电机提高平台稳定性，将工艺中影响的因素减到极致。

2.1.9 废液回收系统，可配合管路清洗进行废液回收，方便废液处理。

2.1.10 涂布平台带有多区域真空吸附功能，基底定位功能，方便基底定位以及涂布过程的固定。

2.1.11 多段式涂布工艺，更好的保证基底首尾膜厚的控制。

2.1.12 压缩空气进入风刀高压腔，气流从风刀长度方向的缝隙流出，形成一面薄薄的高强度气幕。

2.2 软件功能

2.2.1 系统参数可视化，直接显示平台位置，刀头高度，狭缝厚度，涂布速度，注液速度，注液量等参数，配合配方存储功能实现良好的工艺重复性。

2.2.2 可配备定制化涂布工艺控制，如加热台温控，特殊气体吹淋开关等功能。

2.2.3 带有配方存储功能，可保存8组以上成熟的工艺参数，实现良好工艺重复性。

2.2.4 设有自动安全保护功能，利用自身配备的多个传感器的反馈，自动识别危险区间，确保在工作状态下涂布模具安全不撞刀。

三、工艺指标