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VDT-6060

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技术参数

基片尺寸:300mm-1200mm

VCD腔体容积:400mm*400mm/700mm*700mm/700mm*1200mm/1300mm*2500mm(其他可订制)

抽真空能力: 指标10秒到100pa ;30秒到10pa

VCD腔体开盖方式:气缸自动顶升盖板,PTFEpin针自动顶起玻璃板

控制方式: 真空计显示或PLC 触摸屏控制

结构: 一体式结构(内置真空泵)或分体式(外置真空泵)

内箱材质: SUS304#不锈钢

外箱材质: SECC 钢板高级烤漆处理




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